产品介绍：
在传承XQ15-GⅢ激光平面干涉仪的实用性、耐用性的特点。可更广泛适用于大批量生产单位的生产车间大口径平面及棱镜平面度检测、微小楔角测量，更适合于大平板生产流水线快速筛选的应用。
技术参数：
1．第一标准平面（A面），工作直径D1=Φ250mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)
2．第二标准平面（B面），工作直径D2=Φ250mm，平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)
3．准直系统…………………………工作直径Φ250mm，焦距 f = 580mm，波象差<λ/15
4．工作室尺寸……………………………………………1100×1100×350mm
5．光源规格……………………………………激光ZN250（He－Ne）（632.8nm）。
6．仪器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)
7．仪器质量…………………………………………150kg
